1. 招標條件

本招標項目等離子體去膠機招標人為北京無線電測量研究所，招標項目資金來自自籌資金。該項目已具備招標條件，現對等離子體去膠機進行國內公開招標。

2. 項目概況與招標范圍

2.1 招標編號：ZKX20250101A006

2.2招標項目名稱：等離子體去膠機。

2.3 數量：1臺。

2.4 項目概述：等離子體去膠機（高溫）應用于半導體生產工藝中的光刻膠去除工藝，通過RF將O2/N2等離子化，然后與光刻膠發生反應生成CO2和水氣達到去除光刻膠的效果。其去膠的均勻性、工藝溫度控制及去膠速率為關鍵參數。

2.5 交貨地點：用戶成都項目現場。

2.6 交貨期：合同簽字生效后6個月內貨到用戶成都項目現場。

3. 投標人資格要求

3.1 投標人須為具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內注冊的法人或其他組織，具備有效的營業執照或事業單位法人證書或其它營業登記證書。

3.2提供制造商同類產品的業績證明，需在中國境內用戶1家及以上，2021年1月1日至今制造商同類產品銷售1臺及以上，提供可供查證的業績證明材料（需提供合同復印件的相關頁、合同簽訂時間頁或交貨時間頁或其它可以證明交貨時間的材料、簽字蓋章頁作為證明材料，以合同簽訂時間或交貨時間為準，合同內容需顯示制造商、用戶及產品信息，上述內容遮擋或無法清晰辨識的合同復印件不予認可）。

3.3本次招標不接受聯合體投標。

3.4本次招標接受代理商投標。若投標人為代理商，則需提供制造商針對本次投標設備出具的有效授權函，且同一品牌同一型號僅能委托一家投標單位參與投標。

3.5投標人必須向招標代理機構購買招標文件并進行登記才具有投標資格。

4.招標文件的獲取

4.1凡有意參加投標者，請于2025年2月10日至2025年2月21日17時(北京時間)，將招標文件購買費用支付至中科信工程咨詢（北京）有限責任公司（開戶行：華夏銀行北京西客站支行；帳號：10235000000047830）后登錄航天科工集中采購平臺（www.e-casic.com/）上傳匯款底單和下載招標文件,現場不予受理。如有疑問，請致電航天科工集中采購平臺服務熱線400- 993-0088。

4.2 招標文件每套售價500元，售后不退。

4.3投標人必須在航天科工集團采購平臺電子招投標專區注冊，辦理CA數字證書與電子簽章，否則無法投標。（詳見航天科工集團采購平臺電子招投標專區相關說明）。

5. 投標文件的遞交

5.1 投標文件遞交的截止時間（投標截止時間，下同）為2025年3月3日13時30分，投標人必須在此時間前將加密的電子版投標文件上傳至航天科工集中采購平臺電子招投標專區并在此時間前現場遞交單獨密封的紙質版投標文件。紙質版投標文件遞交地點為北京市海淀區金溝河路與采石北路十字路口東南角88號大樓一層會議室。

5.2 逾期送達的、未送達指定地點的或者不按照招標文件要求密封的投標文件，招標人將予以拒收。

6. 發布公告的媒介

本次招標公告同時在航天科工采購集中平臺、中招聯合招標采購平臺和中國招標投標公共服務平臺上發布。

7. 聯系方式

招標人：北京無線電測量研究所

地址：北京市海淀區永定路50號院

聯系人：孫先生

電話：010-68388630

傳真：010-68219538

 

招標代理機構名稱：中科信工程咨詢（北京）有限責任公司

地址：北京市海淀區金溝河路與采石北路十字路口東南角88號大樓一層

項目負責人：賈夢星

電話：010-68388750

售賣聯系人：劉女士

電話：010-88529059

傳真：010-88529153

電子郵箱：zhaobiaobu@zonkex.com

2025年2月10日

 

202502101137269794866966808編輯：365trade.co