受招標(biāo)人委托對下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國際公開競爭性招標(biāo)，于2023-07-14在 公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。 1、招標(biāo)條件 項(xiàng)目概況:宜興中車時代半導(dǎo)體 槽式清洗設(shè)備及陪片清洗設(shè)備項(xiàng)目 資金到位或資金來源落實(shí)情況:已落實(shí) 項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說明:已具備 2、招標(biāo)內(nèi)容 招標(biāo)項(xiàng)目編號:0623-2340J1110173/01 招標(biāo)項(xiàng)目名稱:宜興中車時代半導(dǎo)體 槽式清洗設(shè)備及陪片清洗設(shè)備項(xiàng)目 項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國江蘇省 招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):
| 序號 | 產(chǎn)品名稱 | 數(shù)量 | 簡要技術(shù)規(guī)格 | 備注 |
| 包1 | PRE Clean | 3臺 | 用于8英寸硅晶圓的濕法清洗工藝。 | ★包中設(shè)備不得拆分投標(biāo)。 |
| Post Clean | 4臺 | 用于8英寸硅晶圓的濕法清洗工藝。 | ★包中設(shè)備不得拆分投標(biāo)。 | |
| EKC Clean | 2臺 | 用于8英寸硅晶圓的濕法清洗工藝。 | ★包中設(shè)備不得拆分投標(biāo)。 | |
| OX ETCH1，OX ETCH2和SN ETCH | 3臺 | 用于8英寸硅晶圓的濕法清洗工藝。 | ★包中設(shè)備不得拆分投標(biāo)。 | |
| 包2 | 陪片清洗設(shè)備 | 3臺 | 用于清洗8英寸硅晶圓表面附著的多晶硅/絕緣多晶硅/氮化硅和金屬鎢 | ★包中設(shè)備不得拆分投標(biāo)。 |
3、投標(biāo)人資格要求 投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:資格標(biāo)準(zhǔn)： 包1：槽式清洗設(shè)備: 1、投標(biāo)人具有所投設(shè)備的制造或銷售資格，制造商近三年（以投標(biāo)截止時間前36個月為有效，以合同或訂單簽訂落款時間為準(zhǔn)）具備8寸晶圓廠已交付的槽式清洗設(shè)備業(yè)績合計(jì)不低于60臺,其中氧化層和氮化硅晶圓刻蝕工藝類設(shè)備不低于10臺。（投標(biāo)文件中必須提供合同（或訂單）復(fù)印件以及經(jīng)合同甲方簽字確認(rèn)的收貨單。如合同（或訂單）中無法體現(xiàn)項(xiàng)目信息的，須同時另行提供相關(guān)證明材料） 2、投標(biāo)人如為貿(mào)易公司，必須隨投標(biāo)文件提供制造商針對本項(xiàng)目的《制造商授權(quán)書》。 包2：陪片清洗設(shè)備: 1、投標(biāo)人具有所投設(shè)備的制造或銷售資格，制造商近三年（以投標(biāo)截止時間前36個月為有效，以合同或訂單簽訂的落款時間為準(zhǔn)）陪片清洗設(shè)備業(yè)績合計(jì)不低于5臺。（投標(biāo)文件中必須提供合同或訂單復(fù)印件） 2、投標(biāo)人如為貿(mào)易公司，必須隨投標(biāo)文件提供制造商針對本項(xiàng)目的《制造商授權(quán)書》。 是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受 未領(lǐng)購招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以 4、
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